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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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誠峰發(fā)現(xiàn)影響等離子清洗機(jī)的效果的要素有哪些呢?

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誠峰發(fā)現(xiàn)等離子清洗機(jī)在工作時(shí)能控制各功能部件,在清潔模式下,射頻功率.清洗時(shí)間等均可由觸摸屏設(shè)定,如需充氣時(shí)可選擇兩個(gè)氣路,并分別設(shè)置充氣流量。那么接下來就一同來了解影響等離子清洗效果的關(guān)鍵要素都有哪些。
(1誠峰)等離子清洗機(jī)功率
電漿密度、能量與射頻功率成正比關(guān)系,因此在清洗時(shí)應(yīng)加大清洗功率以提高清洗的程度,提高清洗效率,但是當(dāng)功率太大時(shí),離子溫度就會(huì)升高,金屬襯底或其它在高溫條件下容易氧化的材料將被氧化而破壞,而其它不耐高溫的部件如塑料等也可能損壞,所以在清洗前可借助仿真來合理選擇所需功率,既要滿足經(jīng)濟(jì)性要求又要保證清洗效果和清洗效率。
(2)誠峰等離子清洗機(jī)時(shí)間
一般情況下,既要保證清潔效果,也要花費(fèi)較少的時(shí)間,才能提高清洗效率,但所用時(shí)間是與各個(gè)參數(shù)相關(guān)的。一般情況下,功率越大,需要的清洗時(shí)間就越短,但是耗電也會(huì)越大,功率的增加會(huì)使反應(yīng)腔與部件之間的溫度升高,同時(shí)還會(huì)引起許多其它問題,如零件被損壞、腐蝕等。所以要不停地摸索清洗時(shí)間.功率.壓力與氣體種類及比例的關(guān)系來選擇最佳的清洗工藝。

等離子清洗機(jī)

(3)誠峰等離子清洗機(jī)溫度
等離子轟擊使工件溫度升高,等離子清洗過程中,射頻功率和清洗時(shí)間都會(huì)影響工件的溫度。國際上的研究表明,射頻頻率與溫度呈反比:與射頻功率成正比,溫度越高;對不同材料的溫度有不同的要求,金屬件一般沒有特別的要求但要注意防止金屬的氧化,非金屬等溫度要低,防止變形。
(4)誠峰等離子清洗機(jī)壓強(qiáng)
在設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,真空腔體內(nèi)的壓力關(guān)鍵受到漏氣率、充氣速度和抽氣速度的影響。對于不同的材料和要去除的污染物,要求的壓力也不一樣。在充填氬、氮等非活性稀有氣體時(shí),凈化過程關(guān)鍵依靠離子的物理轟擊,這時(shí)可通過提高抽速或降低抽氣速度,以保證真空室壓力較低,壓強(qiáng)低可使離子能以更高的能量轟擊到基體表面,提高清洗效果;但工作壓力不能過低,在壓力過低時(shí),如果離子濃度降低,離子轟擊裝置表面,也會(huì)影響清洗效果。在化學(xué)清洗占主導(dǎo)地位時(shí),要適當(dāng)提高清洗時(shí)的工作壓力,此時(shí)應(yīng)增加充氣流量,以增加反應(yīng)器內(nèi)反應(yīng)氣體的濃度,讓更多的離子參與化學(xué)反應(yīng),以保證清潔效果。
以上是關(guān)于誠峰等離子清洗機(jī)在處理過程中,會(huì)受影響的要素,如對大家有幫助,歡迎收藏加關(guān)注喔。

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