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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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誠(chéng)峰低溫大氣等離子清洗機(jī)氣體放電等離子體及應(yīng)用的探討

誠(chéng)峰低溫大氣等離子清洗機(jī)氣體放電等離子體及應(yīng)用的探討:
       誠(chéng)峰低溫大氣等離子清洗機(jī)等離子體特性與放電特性密切相關(guān),而放電特性與激勵(lì)電源、放電模式及產(chǎn)生的條件有關(guān),產(chǎn)生低溫大氣等離子清洗機(jī)的等離子體的氣體放電形式多種多樣,依據(jù)所加的次數(shù)主要有:電弧放電、榮容性耦合射頻放電、感性耦合射頻放電、微波放電、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓電弧放電、螺旋波等離子體等。

大氣等離子清洗機(jī)

       獲得等離子體的方式有很多種,依據(jù)所加的次數(shù)不一樣,可以分為直流放電、低頻放電、高頻放電、微波放電等多種類型。低溫大氣等離子清洗機(jī)制造前期,對(duì)低氣壓大氣等離子體放電進(jìn)行了普遍和進(jìn)一步的探討。低氣壓具有比較低的擊穿電壓,容易實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定放電,還可以在較大尺度內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻放電且其活性粒子濃度較高。
       空氣中通常采用平板電極和圓柱電極兩種結(jié)構(gòu)。為實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓介質(zhì)阻擋放電,需在兩邊金屬電極之間的氣隙空間至少插入1塊絕緣介質(zhì)(通常采用玻璃、石英、陶瓷等材質(zhì)),且在兩邊電極施加交流電壓源。隨著外部電壓的增大,介質(zhì)阻擋放電的擊穿類似于其它放電,在外電場(chǎng)作用下,電子加速并獲得能量,通過與周圍原子分子的碰撞發(fā)生能量轉(zhuǎn)移,使原子分子的激發(fā)而產(chǎn)生電子雪崩。當(dāng)放電氣隙電壓大于氣體擊穿電壓時(shí),氣隙被擊穿,放電發(fā)生。


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