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CRF plasma 等離子清洗機

支持材料 測試、提供設(shè)備 試機

20年專注等離子清洗機研發(fā)生產(chǎn)廠家

影響plasma等離子清洗機放電的匹配器,誠峰智造為您分析

      plasma等離子清洗機不放電或者放電不穩(wěn)定,往往是等離子發(fā)生器的阻抗匹配出了狀況。等離子發(fā)生器在進行能量傳輸時,假如反應(yīng)腔體和電極(以下簡稱負載)阻抗和傳輸線的特征阻抗不相等,就會在傳輸時發(fā)生反射,有部分能量通過發(fā)熱等方式損失掉了,而不是所有能量都被plasma等離子清洗機的負載吸收,這樣就會直接影響等離子表面處理的效果。

      在高頻放電回路中,為了保證用于放電區(qū)的功率消耗保護振蕩器,常規(guī)的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設(shè)置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),以便按不同放電條件進行調(diào)節(jié),使高頻發(fā)生器的輸出阻抗與負載阻抗能夠匹配,讓等離子清洗機放電穩(wěn)定,工作效率高。

plasma等離子清洗機

      影響等離子清洗機匹配效果的幾個主要因素

      等離子清洗機的匹配器,就好比是等離子發(fā)生器的伴侶,兩者要相互匹配,不可用小功率的匹配器去適應(yīng)大功率的等離子發(fā)生器,除此之外,要想等離子清洗機取得理想的匹配效果,還需注意以下幾個方面。

      1.在設(shè)計plasma等離子清洗機的反應(yīng)腔體和電極的時候,要與匹配器供應(yīng)商充分溝通相關(guān)技術(shù)參數(shù),以滿足等離子清洗機的匹配要求;

      2.plasma等離子清洗機在安裝匹配器的時候,應(yīng)盡量靠近反應(yīng)腔體和電極,縮短連線,減少功率損耗;

      3.氣體流量、真空度、處理的產(chǎn)品材質(zhì)和數(shù)量等因素都可能影響阻抗匹配,需根據(jù)實際情況做調(diào)整。

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