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低溫等離子體中除氣體分子、離子和電子外,還有電中性原子或原子團

低溫等離子體中除氣體分子、離子和電子外,還有電中性原子或原子團:
       低溫等離子體中除氣體分子、離子和電子外,還有電中性原子或氧自由基,由于這種氧自由基是電中性的,其存在時間較長,并且在低溫等離子體中的數量比離子多,所以氧自由基在低溫等離子體中起著重要作用。自由基團的作用主要是化學反應過程中能量轉移的“激活”,處于受激態的氧自由基具有高能量,這樣容易與物件表面分子結合,就會產生新的氧自由基,而新形成的氧自由基則處于非穩定高能態,當轉變成更小的分子時,很有可能發生分解反應,從而產生新的氧自由基,這個反應過程可能會繼續,最終分解為水、二氧化碳等簡單的分子,而在其他情況下,氧自由基與物件表面的分子結合時,而這種能量也是引發新的表面反應的驅動力,由此引發物件表面的物質發生化學反應而除去。

       由于受到物件表面的沖擊作用,會促使吸附在物件表面的氣體分子被分解和吸附,而大量電子碰撞則有利于化學反應。因為電子的質量非常小,所以比離子運動得更快。在低溫等離子體處理過程中,電子到達物件表面的時間比離子早,并且表面帶負電荷,這有利于引發進一步的反應。

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