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CRF plasma 等離子清洗機

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制定研究高頻高壓電暈等離子處理機

制定研究高頻高壓電暈等離子處理機:
       等離子體作為物質的第四種狀態,由于其獨特的離子效應、優異的導電性和明顯的集體運動行為,在能源、信息材料、化工、醫療、空間物理等層面得到了廣泛的關注和應用。在等離子體應用和營銷推廣的同時,各層面對等離子體發生器的制定提到了更多的要求。由于傳統的DC等離子體發生器能耗高,效率低,新型高效電暈等離子處理的制定和研究越來越重要,以滿足現代工業的更高需求。
       針對傳統直流電暈等離子處理存在的問題,制定了高頻高壓電暈等離子處理器。該系統由移相全橋PWM控制模塊功率驅動控制模塊、高可靠性雙串聯諧振升壓模塊等控制模塊組成,可有效提高輸入功率效率,大大降低驅動電路的熱損耗,穩定等離子體。
發生高頻高壓電暈等離子處理的方法。

電暈等離子處理機

       在電磁線圈上施加高頻電場時,一部分空氣電離形成的自由電子做好快速運動,二次碰撞氣體原子形成電離,在垂直于磁場方向的截面上形成閉環渦流。根據等離子體電磁感應原理,電流頻率越高,磁通變化率越大,感應電勢越大,電磁感應原理越明顯,等離子體束越穩定。由于高頻正弦交流電電磁感應原理的存在,等離子體束具有皮膚效應。

       電流頻率越高,穿透深度越小,皮膚效應越明顯,等離子體中的自由電子越集中。表面電子密度增加,自吸現象減弱(發射體向外輻射的譜線被自身原子吸收,削弱譜線中心強度),等離子體越穩定。
       因此,當放電端的電壓和正弦交流電的頻率分別達到相關閾值時,可以形成可靠性好、電子密度高的等離子體。等離子體可以在高頻高壓下通過氣體放電穩定形成。在晶體管的驅動下,系統通過移相全橋控制電路提供控制信號,通過高頻串聯諧振升壓電路穩定輸入信號升壓。
       在高頻升壓電路的制定中,系統采用基于LC串聯諧振的高頻串聯諧振固態特斯拉升壓電路。電路由低壓輸入端、主電容組、串聯諧振斷路器、初級線圈和放電端組成,可在放電端形成高壓電場,實現高頻高壓條件下的等離子體。高頻高壓電暈等離子處理通過移相全橋控制電路在功率晶體管驅動下提供控制信號,通過高頻串聯諧振升壓電路穩定發生輸入信號升壓,降低驅動管耗,提高輸入電源效率。
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